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山东冷 水机在真空镀膜工艺中的作用

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山东冷 水机在真空镀膜工艺中的作用

真空镀 膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空 气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以必 须在高真空下才能使结晶体细密光亮,果如真 空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真 空镀膜是依靠蒸发体自然散射,结合差工效低光泽差。现在加 上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出 大量的靶材原子,呈中性 的靶原子或分子沉积在基片上成膜,解决了 过去自然蒸发无法加工的膜体品种,如镀钛镀锆等等。

中频设 备必须加冷却水,原因是 它的频率高电流大。电流在 导体流动时有一个集肤效应,电荷会 聚集在电导有表面积,这样使 电导发热所以采用中孔管做导体中间加水冷却。

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